不用光刻机,若何制作5nm芯片?
最近,光刻芯片圈儿又有大往事了。何制
佳能搞出了个新的不用芯片制作配置装备部署,不用光刻技术,光刻就能造 5nm 的何制芯片。
而且说是不用再优化优化, 2nm 制程也不是光刻啥大下场。
这可先把一众网友们搞懵圈儿了 ,何制佳能奈何样欠好好造相机 ,不用跑进去搞造芯片的光刻机械了?
而且一动手便是 5nm 、 2nm 的何制 。
而这,不用差评君就不患上不先帮佳能找补多少句了,光刻并不断以来 ,何制佳能在芯片制作配置装备部署上都有妄想 ,隔邻的尼康也是一个样。
不外当初光刻机的顶尖技术不断都被 ASML 独占 ,佳能眼看追不上,于是在钻研光刻机的同时 ,又找了另一条赛道:纳米压印 。
这次往事的主角 ,也正是这个 “ 纳米压印 ” 技术,反正新闻一出 ,吃瓜公共们的反映是最冷落的。
像是甚么“ 光刻机即将被取代,纳米压印战未来 ” “ ASML 这下要慌了 ,被换赛道超车了 ” 。。。种种品评辩说看患上人一片沸腾,彷佛光刻机这玩意儿,之后只能在废品接管站里看到了似的。
差评君也去简陋清晰了一下,却发现使命比想象中的重大 ,且幽默。
首先这些年来,光刻机的睁开已经逐渐走到一个瓶颈期 ,芯片制程的后退速率,也肉眼可见患上变慢。
不比力就不伤害 ,反不雅睁开至今才二十多年的纳米压印技术,却是一个 “ 快 ” 字了患上,噌噌多少年就快要遇上光刻机的进度了 。
比力上个世纪五十年月起步的光刻技术 ,速率直接翻了一倍多。
而且,新的纳米压印技术以及光刻机比照,不光老本也降了,致使制作工艺也贼重大 ,更适宜大规模破费 。
这么说吧,用光刻技术造芯片,总老本若是十块,光刻技术就患上花三块 ,光阴老本也占到总老本的一半。
比力之下,用纳米压印技术可能省掉快要三成的老本 ,若是晶圆吞吐量再提升一点 ,直接就能节约一泰半的老本 。
更紧张的是,纳米压印技术的工艺颇为重大,跟盖章同样,像下图这种印章列位差友们理当都见过概况玩过吧 。
纳米压印的道理呢,以及它差未多少 ,只不外是迷你微缩版 。
制作的历程总共就分两步,一步造 “ 印章 ” ,一步 “ 盖章 ” 。
先在刻好电路的底板上喷涂印章所需的质料 ,等凝聚后便是纳米压印的印章。
而后再在晶片上喷涂一层纳米压印胶,直接盖章、期待凝聚 、脱模就 OK 了 。
在造印章、盖章的历程中,都不用交流工具 ,一个 “ 喷头 ” 就能搞定,时期惟独要替换概况的质料 。
而隔邻需要折来折去的 EUV 光刻技术,不光要一个重大的透镜阵列来操作光线 ,而且要发生这个波长极短的极紫外光,还患上大功率反对于着。
这样比力之下,纳米压印技术简直是集能耗小、工艺重大、配置装备部署轻捷等短处于一身,良多人都以为这会是最有可能替换 EUV 光刻的技术。
而且如今,纳米压印技术也已经睁开出了良多分支,光是压印方式就有三种 :热压印 、紫外压印以及微打仗压印,其中紫外压印罕用在芯片制作中,在紫外光的映射下,压印胶很简略凝聚脱模 。
凭证固化方式、压印面积中分类也衍生出了良多差距的工艺 。
这些工艺,除了造芯片之外,还能用在 LED 、 OLED 、 AR 配置装备部署中 。
可能说,在纳米压印这块儿,已经有百花齐放 ,步入慢车道的迹象了。
此外,全部芯片制作行业 ,对于纳米压印技术的关注也良多。
从 2004 年开始,下面咱们提到的佳能,就开始偏远钻研起了纳米压印 。2014 年它笼络了美国的一家纳米压印公司 Molecular Imprints( 份子压模 ),正式宣告进入纳米压印市场。
其后 ,它还以及东芝( 如今的铠侠 )相助,豫备用纳米压印技术造 3D NAND 闪存,三星在买 EUV 配置装备部署的同时,也还在入手妨碍纳米压印技术的研发。
就连 SK 海力士也从佳能那边买了纳米压印配置装备部署 ,豫备搞 3D NAND 闪存破费测试,并妄想在 2025 年实现大规模量产。
假如能顺遂实现商业化的话, 200 层以上的 3D NAND 闪存破费功能会大猛后退。
到时候,用纳米压印技术造 DRAM 、 CPU 等芯片做作也就不远了。
在国内,纳米压印的市场也是睁开患上火热,良多高校像复旦 、北大等都有相关的钻研 。头多少天佳能官宣自家的纳米压印配置装备部署之后 ,还顺带拉动了国内相关意见股 ,汇创达盘中一度涨超 14% 。
国内的一些上市企业 ,好比美凯迪 、奥比中光、腾景科技等也都在纳米压印相关行业有所妄想 ,而且还在不断搞相关技术的研发。
前期,市场火热最直不雅的展现便是在专利上,当初国外在纳米压印技术相关专利总数上排名第二,占比全天下总数的 16% 。
以是说纳米压印技术,妥妥是当初确当红辣子鸡 。
不外在差评君心田尚有个疑团,纳米压印技术这么重大,一句话就能批注显晰道理 ,为啥这么晚才被钻研,不理当早就运用了吗 ?
于是我又回偏激子细钻研了下纳米压印的工艺流程,发现纳米压印这技术 ,在一起头就卡了个大 BUG 。
而这 BUG ,也算是解答了差评君的疑难,那便是:光刻机事实会不会被取代、被扩展?
还拿盖章章的例子来说 ,用这种措施做芯片,第一步首先患上做印章吧,但纳米压印做那个 “ 印章 ” 的模具是 1 :1 的。
但要奈何样 “ 挖出 ” 印章里这种纳米级的沟道?
( 舒适揭示 :当初便是由于挖不出纳米级的沟道才搞出的光刻机,用 5 :1 致使 10 :1 淘汰后的电路板光刻 。 )
以是能供纳米压印抉择的要末是光刻,要末便是试验室里的电子束曝光以及聚焦离子束 。
e妹妹m 合着这一圈儿又回到尽头了。 。。
不外幸好那个做印章的 “ 模具 ” 可能一再运用,不用大批破费 ,也算是另一种方式的节约老本,否则真便是脱裤子放屁 。
尽管,除了这个大 BUG 外,纳米压印尚有良多的技术难题等着处置。
艰深咱们自己玩印章的时候都防止不了印的不屈均 ,概况缺边少角的。
而在纳米尺度下的纳米压印技术,这些情景就更不能防止了,像下面这些双方高度不一、印章变形 、不残缺适宜的天气都是很罕有的残次品。
要防止这些残次品的泛起,就患上在技术高下功夫 。
首先便是喷涂历程 ,也便是在晶片上喷涂纳米压印胶,在这个历程中,喷涂的厚度、平均度等都有着严厉的要求,而且还不能有气泡、灰尘进入 ,一旦进入直接就报废了。 。 。
处置措施当初都是在压印历程下功夫 ,部份加热不屈均的部份,好让印章以及印胶详尽贴合 。
尚有便是脱模历程,为了能让压印胶更好的脱模,业内艰深都市在胶下面搞上一层纳米级此外抗粘性质料。
这尽管好脱模了,但这种抗粘性质料还会以及模具爆发磨擦啥的,模具的寿命也会因此延迟 。
此外尚有压印胶质料、模具质料的抉择,模具定位及套刻精度,精确操作等等一系列下场 。
这些零星的技术难题,展现到产物上便是良率的下场 。
以是,要实现纳米压印芯片量产就绕不开这些下场,而要处置这些下场,大批的研发以及试错老本少不了,这所有,都需要光阴来反对于。
最后 ,再回到收尾说的纳米压印能不能取代光刻机的下场上 。
信托看到这里的同伙们心田思应都有谜底了 :确定不会,事实纳米压印在第一步就绕不开光刻技术。
更紧张的是 ,差评君感应,这两种技术之间的关连并非非此即彼 ,与其说纳米压印会取代光刻机 ,不如说纳米压印是光刻技术的缩短。
就像二十世纪通用机床同样,一起头它们只破费产物 ,其后转向破费专用工具,专用工具再破费产物 ,不光扩展了产能,还飞腾了老本。
概况未来有一天,光刻机也会迎来这样的脚色转变,到时候,说不定芯片制作业,已经实现了新一轮的刷新。
撰文:松鼠 编纂 :江江&鹤然 封面:焕妍
图片 、质料源头:
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